国祥微电子行业解决方案

国祥微电子行业

解决方案

Clean air solutions for the microelectronics industry

 

微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。其主要特点为超精细加工,生产环境要求高,动力消耗大,投资巨大,工程复杂。

随着生产工艺的不断发展,微电子工业对环境及其配套工程的要求越来越严格,其产品的成品率和可靠性主要取决于材料的纯度和制造环境的洁净度,对洁净空调技术的要求也越来越高。

 

 

 

 

国祥深耕电子净化领域多年

针对不同的产品、生产规模、功能分区

提供多元化洁净解决方案

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PART.01

 

▶ 大型微电子净化车间空调方案

 
 

集成电路(IC)、平板显示器工厂生产车间庞大,空调通风量往往几百万甚至上千万m³/h,能耗极大。气载化学污染物对集成电路生产的影响,比空气中悬浮物要广泛和复杂的多。因此微电子行业的洁净空调系统,不光要去除颗粒污染物,还要去除化学污染物。

 

 

1.

组合式空气处理机组

风量:1000~32万m³/h

 

由混合、过滤、冷却、加热、加湿、除湿、热回收、消毒的等空气处理功能段组合,可实现对空调区域内空气的温度、湿度、洁净度的处理和控制,以实现空调系统集中送风;

机组箱体采用榫头双柱箱体专利设计,保证机组超高强度、超低漏风率;

● 国家级测试中心漏风率报告,漏风率仅0.03%,

机组配置超低漏风且安全泄压专利检修门,机组冷桥因子和传热系数达欧标TB1/T1要求;

机组以卓越的性能顺利通过德国TUV测试认证,品质得到了国内外广泛认可。

 

2.

干盘管

风量:1000~10000 m³ /h

 

● 温湿度、洁净度独立控制;

● 结构精巧,性能优越;

 

每台出厂前都经过12~14MPa的水压试验,性能稳定可靠。

 

3.

磁悬浮变频离心式冷水机组M-plus+ 

冷媒:R134a

制冷量:984.8~3517.0kW

 

由磁悬浮变频压缩机、经济器、降膜式蒸发器、强过冷冷凝器等部件组成,其满载性能系数高达6.75、综合部分负荷性能系数高达11.85,运行能效在全负荷范围内处于高水平;

无油运转,维护简单,整个生命周期内性能无衰减;

● 运转安静,仅70dB(A)左右。

 

 

 

PART.02

 

 中小型电子净化车间空调方案

 
 

印刷电路板(PCB)的生产、电子产品的装配等净化车间,通常规模相对较小。

 

 

1.

直流变频直膨式空调机组

冷媒:R410a

制冷量:25.2~224 kW

 

● 空气处理部分采用专利榫头双柱结构,机组漏风率仅为0.03%。机组采用面板直接拼装结构,面板内部为高密度聚氨酯发泡,确保面板有足够的强度;

机组内表面光滑平整,不易积灰,无二次污染,适合净化场所使用;

● 全新高压腔直流变频压缩机实现电机的高效运转特别在低速、低压比时效率更高,更节能;

柔性涡旋压缩机可承受一定程度液压缩,延长使用寿命;

直流变频技术,制冷能力根据负荷无级调节,温湿度控制精准,波动小。

 

2.

满溢式螺杆冷水机组

冷媒:R22/R134a

制冷量:275~3600kW(R22)

           245~3000kW(R134a)

热回收:83~1080kW(R22)(可选)

 

● 主要用来为中央空调工程和工业生产提供集中冷源,同时根据客户需求可提供清洁热水;广泛应用于轨道交通、宾馆、饭店、学校、商场、办公楼、医院等空调场所,也可用于核电、塑料化工、精密仪器等工艺冷却过程。

 

3.

模块式风冷热泵

冷媒:R410a

制冷量:50.5~2096kW

 

● 采用全密闭涡旋式压缩机,噪声低、振动小且能效比高;

● 模块化设计,可分级启动以减少对电网的瞬间冲击,节省电能;

● 每个模块均有独立的框架结构,制冷系统和控制保护系统,各模块单元以步进方式达到空调所需的负荷容量,任何模块单元发生故障时并不影响其他模块单元的正常工作。

 

 

 

PART.03

 

▶ 常年制冷

 
 

电子净化车间由于维护结构保温性能好,功能分区多,车间内设备发热量大,通常处于厂房中部的房间,即使在春秋季甚至冬季,也需要制冷降温。

 

 

 

风冷大涡漩冷水机组

冷媒:R410a

制冷量:230~3680kW

 

● 模块化设计,可分级启动以减少对电网的瞬间冲击,节省电能;

● 每个模块均有独立的框架结构,制冷系统和控制保护系统,各模块单元以步进方式达到空调所需的负荷容量,任何模块单元发生故障时并不影响其他模块单元的正常工作。

 

 

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